微(wei)型化(hua)(hua)興起于20世(shi)紀80年代末，指(zhi)的(de)(de)是(shi)機(ji)(ji)電一體(ti)化(hua)(hua)向微(wei)型機(ji)(ji)器和微(wei)觀領域發(fa)展(zhan)的(de)(de)趨勢。國外稱其為微(wei)電子機(ji)(ji)械(xie)系統(MEMS)，泛指(zhi)幾何尺寸不超過1cm3的(de)(de)機(ji)(ji)電一體(ti)化(hua)(hua)產品(pin)(pin)，并向微(wei)米、納米級(ji)發(fa)展(zhan)。微(wei)機(ji)(ji)電一體(ti)化(hua)(hua)產品(pin)(pin)體(ti)積(ji)小、耗能(neng)少、運動靈(ling)活，在生物醫(yi)療(liao)、軍事(shi)、信息等方面具有不可(ke)比擬(ni)的(de)(de)優勢。微(wei)機(ji)(ji)電一體(ti)化(hua)(hua)發(fa)展(zhan)的(de)(de)瓶(ping)頸在于微(wei)機(ji)(ji)械(xie)技(ji)(ji)(ji)術，微(wei)機(ji)(ji)電一體(ti)化(hua)(hua)產品(pin)(pin)的(de)(de)加工(gong)采用精細加工(gong)技(ji)(ji)(ji)術，即超精密技(ji)(ji)(ji)術，它包括光刻技(ji)(ji)(ji)術和蝕(shi)刻技(ji)(ji)(ji)術兩類。

工業的(de)發(fa)達給人(ren)們(men)(men)生(sheng)活(huo)帶來了巨大變化(hua)。一方面，物質(zhi)豐富，生(sheng)活(huo)舒適;另一方面，資(zi)(zi)(zi)源(yuan)減少，生(sheng)態環(huan)境(jing)(jing)受到嚴重(zhong)污(wu)染。于是，人(ren)們(men)(men)呼吁保護(hu)環(huan)境(jing)(jing)資(zi)(zi)(zi)源(yuan)，回歸自然。綠色產品概念在這種(zhong)呼聲下應運而生(sheng)，綠色化(hua)是時代的(de)趨勢。綠色產品在其設計(ji)、制造(zao)、使用(yong)和(he)銷毀(hui)的(de)生(sheng)命(ming)過(guo)程中，符合(he)特(te)定的(de)環(huan)境(jing)(jing)保護(hu)和(he)人(ren)類健康(kang)的(de)要求，對生(sheng)態環(huan)境(jing)(jing)無(wu)害(hai)或危害(hai)極(ji)少，資(zi)(zi)(zi)源(yuan)利(li)用(yong)率極(ji)高(gao)。設計(ji)綠色的(de)機(ji)電一體化(hua)產品，具有遠大的(de)發(fa)展(zhan)前途(tu)。機(ji)電一體化(hua)產品的(de)綠色化(hua)主要是指(zhi)，使用(yong)時不污(wu)染生(sheng)態環(huan)境(jing)(jing)，報(bao)廢后能回收利(li)用(yong)。

系(xi)(xi)(xi)統(tong)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)表(biao)現特征之一(yi)(yi)(yi)就是(shi)系(xi)(xi)(xi)統(tong)體(ti)(ti)系(xi)(xi)(xi)結構進(jin)一(yi)(yi)(yi)步采用開放(fang)式和模式化(hua)(hua)的(de)(de)(de)總線結構。系(xi)(xi)(xi)統(tong)可以靈活(huo)組(zu)態，進(jin)行任意剪(jian)裁和組(zu)合(he)，同時尋求實(shi)現多(duo)子(zi)系(xi)(xi)(xi)統(tong)協調控制和綜合(he)管(guan)理。表(biao)現之二(er)是(shi)通信功能(neng)的(de)(de)(de)大(da)大(da)加強，一(yi)(yi)(yi)般(ban)除RS232外，還有RS485、DCS人(ren)(ren)格(ge)化(hua)(hua)。未來(lai)(lai)的(de)(de)(de)機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)更加注重(zhong)產(chan)(chan)品(pin)與人(ren)(ren)的(de)(de)(de)關(guan)系(xi)(xi)(xi)，機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)人(ren)(ren)格(ge)化(hua)(hua)有兩層(ceng)含義。一(yi)(yi)(yi)層(ceng)是(shi)，機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品(pin)的(de)(de)(de)最(zui)終(zhong)使用對象是(shi)人(ren)(ren)，如何賦予機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品(pin)人(ren)(ren)的(de)(de)(de)智能(neng)、情感、人(ren)(ren)性顯得越(yue)來(lai)(lai)越(yue)重(zhong)要，特別是(shi)對家用機(ji)(ji)器(qi)人(ren)(ren)，其(qi)高層(ceng)境界就是(shi)人(ren)(ren)機(ji)(ji)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)。另(ling)一(yi)(yi)(yi)層(ceng)是(shi)模仿生物機(ji)(ji)理(即仿生學)，研(yan)制各(ge)種機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品(pin)。事實(shi)上，許多(duo)機(ji)(ji)電(dian)一(yi)(yi)(yi)體(ti)(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品(pin)都是(shi)受動(dong)物的(de)(de)(de)啟(qi)發研(yan)制出來(lai)(lai)的(de)(de)(de)。