微(wei)(wei)型化(hua)(hua)興起于(yu)20世(shi)紀80年代末，指的(de)是機(ji)(ji)電(dian)(dian)一體(ti)化(hua)(hua)向微(wei)(wei)型機(ji)(ji)器和(he)微(wei)(wei)觀領域發展(zhan)(zhan)(zhan)的(de)趨勢(shi)。國外稱其為微(wei)(wei)電(dian)(dian)子機(ji)(ji)械系統(MEMS)，泛指幾何尺(chi)寸不超(chao)過1cm3的(de)機(ji)(ji)電(dian)(dian)一體(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品，并向微(wei)(wei)米、納(na)米級發展(zhan)(zhan)(zhan)。微(wei)(wei)機(ji)(ji)電(dian)(dian)一體(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品體(ti)積小、耗能少、運動靈活(huo)，在生(sheng)物醫療、軍(jun)事(shi)、信息(xi)等方(fang)面具有不可比(bi)擬(ni)的(de)優勢(shi)。微(wei)(wei)機(ji)(ji)電(dian)(dian)一體(ti)化(hua)(hua)發展(zhan)(zhan)(zhan)的(de)瓶頸在于(yu)微(wei)(wei)機(ji)(ji)械技(ji)術，微(wei)(wei)機(ji)(ji)電(dian)(dian)一體(ti)化(hua)(hua)產(chan)(chan)品的(de)加(jia)工采(cai)用精細加(jia)工技(ji)術，即超(chao)精密技(ji)術，它(ta)包括光刻技(ji)術和(he)蝕刻技(ji)術兩類。

工業的(de)發達給人(ren)們生(sheng)(sheng)活帶來了巨大變化。一方面(mian)，物(wu)質豐富，生(sheng)(sheng)活舒適(shi);另一方面(mian)，資(zi)源(yuan)減少，生(sheng)(sheng)態(tai)環(huan)(huan)境受到嚴(yan)重污(wu)染。于是，人(ren)們呼吁保護環(huan)(huan)境資(zi)源(yuan)，回歸自(zi)然。綠(lv)色(se)(se)產品概念在這種呼聲下應運而(er)生(sheng)(sheng)，綠(lv)色(se)(se)化是時代的(de)趨勢。綠(lv)色(se)(se)產品在其設計、制造、使用和銷(xiao)毀(hui)的(de)生(sheng)(sheng)命(ming)過程中，符(fu)合(he)特定的(de)環(huan)(huan)境保護和人(ren)類健康的(de)要求(qiu)，對(dui)生(sheng)(sheng)態(tai)環(huan)(huan)境無害或(huo)危(wei)害極少，資(zi)源(yuan)利用率極高。設計綠(lv)色(se)(se)的(de)機(ji)電一體(ti)化產品，具(ju)有(you)遠大的(de)發展前途。機(ji)電一體(ti)化產品的(de)綠(lv)色(se)(se)化主(zhu)要是指，使用時不(bu)污(wu)染生(sheng)(sheng)態(tai)環(huan)(huan)境，報廢后能(neng)回收利用。

系(xi)(xi)統(tong)化(hua)(hua)(hua)的(de)(de)(de)表現(xian)特征之(zhi)(zhi)一(yi)就(jiu)是(shi)(shi)系(xi)(xi)統(tong)體(ti)系(xi)(xi)結構進一(yi)步采用開放(fang)式(shi)和(he)模式(shi)化(hua)(hua)(hua)的(de)(de)(de)總線結構。系(xi)(xi)統(tong)可以靈活組(zu)態，進行任意剪裁和(he)組(zu)合，同時尋求(qiu)實現(xian)多(duo)子系(xi)(xi)統(tong)協調控(kong)制(zhi)和(he)綜(zong)合管理。表現(xian)之(zhi)(zhi)二是(shi)(shi)通(tong)信(xin)功能(neng)的(de)(de)(de)大大加(jia)強，一(yi)般除RS232外，還有RS485、DCS人(ren)(ren)格(ge)化(hua)(hua)(hua)。未來的(de)(de)(de)機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)更(geng)加(jia)注重(zhong)產(chan)(chan)(chan)品與人(ren)(ren)的(de)(de)(de)關系(xi)(xi)，機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)的(de)(de)(de)人(ren)(ren)格(ge)化(hua)(hua)(hua)有兩(liang)層含義。一(yi)層是(shi)(shi)，機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)產(chan)(chan)(chan)品的(de)(de)(de)最終使用對象是(shi)(shi)人(ren)(ren)，如何賦予機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)產(chan)(chan)(chan)品人(ren)(ren)的(de)(de)(de)智(zhi)能(neng)、情(qing)感(gan)、人(ren)(ren)性顯得越(yue)來越(yue)重(zhong)要，特別是(shi)(shi)對家用機器人(ren)(ren)，其(qi)高層境界就(jiu)是(shi)(shi)人(ren)(ren)機一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)。另一(yi)層是(shi)(shi)模仿(fang)(fang)生物機理(即仿(fang)(fang)生學)，研制(zhi)各(ge)種機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)產(chan)(chan)(chan)品。事實上，許多(duo)機電(dian)一(yi)體(ti)化(hua)(hua)(hua)產(chan)(chan)(chan)品都是(shi)(shi)受(shou)動(dong)物的(de)(de)(de)啟(qi)發研制(zhi)出來的(de)(de)(de)。